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真空閘閥
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Agilent安捷倫 TSP鈦升華離子泵通常不建議用于處理高腐蝕性氣體。這是因為離子泵內部包含鈦、等材料,而一些高腐蝕性氣體可能對這些材料產生不利影響。
Agilent安捷倫 TSP鈦升華離子泵對高濕度環(huán)境相對敏感,因為濕度可能影響其抽氣效率和性能。
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