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Agilent安捷倫 TSP鈦升華離子泵是否適用于高腐蝕性氣體

Agilent安捷倫 TSP鈦升華離子泵通常不建議用于處理高腐蝕性氣體。這是因?yàn)殡x子泵內(nèi)部包含鈦、等材料,而一些高腐蝕性氣體可能對這些材料產(chǎn)生不利影響。

Agilent安捷倫TSP鈦升華離子泵

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Agilent安捷倫 TSP鈦升華復(fù)合離子泵 VacIon Plus 500

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高腐蝕性氣體可能引起離子泵的以下問題:

材料腐蝕: 一些氣體,如氯氣、強(qiáng)酸氣體等,對離子泵內(nèi)部的材料(包括鈦)可能產(chǎn)生腐蝕作用,導(dǎo)致材料的損壞和壽命減短。

性能下降: 腐蝕性氣體的作用可能導(dǎo)致離子泵的性能下降,抽氣速率降低,影響真空系統(tǒng)的整體性能。

氣體反應(yīng): 一些腐蝕性氣體可能與離子泵內(nèi)的材料發(fā)生反應(yīng),產(chǎn)生不穩(wěn)定的化合物,進(jìn)一步影響系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

如果需要處理高腐蝕性氣體,通常會(huì)選擇其他類型的真空泵,例如:

螺桿泵: 具有較高的抽氣速率,適用于一些揮發(fā)性氣體,但對于高腐蝕性氣體也要謹(jǐn)慎選擇。

羅茨泵: 適用于一些揮發(fā)性氣體,具有較好的耐腐蝕性能。

離心泵: 對于一些揮發(fā)性氣體和腐蝕性氣體具有一定的適用性。

以上就是北京麥迪森科技有限公司提供的Agilent安捷倫TSP鈦升華離子泵是否適用于高腐蝕性氣體的介紹。   

Agilent安捷倫TSP鈦升華離子泵


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