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鈦升華泵TSP

Agilent安捷倫 TSP鈦升華復(fù)合離子泵 VacIon Plus 300

Agilent安捷倫CombiTSP 300集成了VacIon 300 L/s離子泵、TSP泵芯和TSP低溫擋板,可在體積不變的情況下提高抽速。

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產(chǎn)品詳情

Agilent安捷倫CombiTSP 300集成了VacIon 300 L/s離子泵、TSP泵芯和TSP低溫擋板,可在體積不變的情況下提高抽速。TSP泵芯的吸氣特性可快速達到超高和極高真空狀態(tài) (UHV/XHV),從而降低極限真空。低溫擋板可進一步提高可吸收氣體的抽除效率。三極離子泵元件對甲烷、氬氣和氦氣具有*高的抽速和容量。

TSP鈦升華復(fù)合離子泵

這款泵非常適合粒子物理學(xué)和其他低壓研究(如表面科學(xué)、納米技術(shù)、材料科學(xué)),可根據(jù)您的需求定制不同的高壓真空通導(dǎo)件、泵體幾何形狀和泵元件。


產(chǎn)品參數(shù)


加熱器電壓

100-120/200-240 V

加熱器電源

580 W

單元類型

StarCell      Noble Diode     Diode

工作壽命

80000小時

抽氣口法蘭

8 英寸 CFF (NW 150)

啟動壓力

5 x 10-2 mbar

烘烤溫度

350 °C

極限真空

< 1 x 10-11 mbar

真空高壓接頭類型

Fischer     SHV


產(chǎn)品特點


·該離子-TSP復(fù)合泵為 VacIon Plus 300,帶有一個附加側(cè)孔或底部安裝的 8 英寸 ConFlat 孔。

·可選擇三極離子泵、二極離子泵或惰性氣體二極離子泵抽氣單元,可達到*高惰性氣體 (UHV/XHV) 抽速。

·配備 ConFlat 8 英寸非旋轉(zhuǎn)型入口法蘭以及采用雙法蘭或帶側(cè)孔配置的額外 8 英寸 ConFlat 孔。

·低溫擋板安裝在外徑 8 英寸的 ConFlat 法蘭上,還包括一個用于安裝 TSP 泵的 2.75 英寸 ConFlat 法蘭。

·包括 TSP 泵芯,但未安裝在泵內(nèi)。

·低溫擋板可為 TSP 的升華鈦提供更大的表面積,避免真空系統(tǒng)發(fā)生不需要的鈦膜沉積。

·使用液氮冷卻時,低溫擋板提高了吸氣過程的效率和抽除水的速度。也可在水冷下運行,或在超高真空/極高真空下無需冷卻地運行。

·配備已安裝的 120 Vac 或 230 Vac 加熱器,還有多種真空穿導(dǎo)件可供選擇(Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV (Safeconn))。

·電纜和控制器單獨提供。


產(chǎn)品尺寸


VacIon Plus 300 TSP復(fù)合泵尺寸

VacIon Plus 300 TSP復(fù)合泵


產(chǎn)品選型


9192611

Ion CombiTSP VacIon Plus 300 L/s Diode離子泵

帶側(cè)部安裝的低溫擋板和 TSP 泵芯,帶加熱器,220 V

9192611M100

Ion CombiTSP VacIon Plus 300 L/s Diode離子泵

帶側(cè)部安裝環(huán)境防護罩和 TSP 泵芯,帶加熱器,220 V

9192613

Ion CombiTSP VacIon Plus 300 L/s Diode離子泵

帶底部安裝的低溫擋板和 TSP 泵芯,帶加熱器,220 V

9192641

Ion CombiTSP VacIon Plus 300 L/s Starcell離子泵

帶側(cè)部安裝的低溫擋板和 TSP 泵芯,帶加熱器,220 V

9192641M009

Ion CombiTSP VacIon Plus 300 L/s Starcell離子泵

不帶制冷 TSP,帶加熱器,220 V

9192643

Ion CombiTSP VacIon Plus 300 L/s Starcell離子泵

帶底部安裝的低溫擋板和 TSP 泵芯,帶加熱器,220 V


以上就是北京麥迪森科技有限公司為您介紹的Agilent安捷倫CombiTSP 300復(fù)合離子泵 ,如果想要了解更多產(chǎn)品信息請咨詢15301310116(微信同號)。

Agilent安捷倫-VacIon Plus 300 TSP復(fù)合泵


Agilent 安捷倫 鈦升華復(fù)合離子泵 TSP復(fù)合離子泵 CombiTSP 300 VacIon Plus 300
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