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成功案例

Edwards愛德華nXDS干式渦旋真空泵

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Edwards愛德華nXDS干式渦旋真空泵,nXDS 泵在其他渦旋泵的基礎上進行優(yōu)化,提高了抽速,獲得了更高極限真空、更低功耗和噪聲。借助氣鎮(zhèn)功能可以對可冷凝蒸汽(包括水、溶劑、稀酸和堿)進行抽真空。nXDS 泵還采用了新的端面密封技術,顯著延長了端面密封條更換的時間間隔。

愛德華Edwards nXDS-C是改進型,更適用于水蒸氣以及某些具有腐蝕性物質(zhì)的應用。這個耐化學腐蝕的版本是基于Chemraz內(nèi)閥以及不銹鋼材料。nXDS-R型不帶氣鎮(zhèn)因此它不能被突然打開。它可應用于稀有氣體的再循環(huán)或者氣體回收。

產(chǎn)品特點:

*  溫控風扇:可以在低負載條件下降低風扇轉速,從而使噪聲降至僅 52 dB(A)。

*  軸承罩:可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離,以確保清潔的真空環(huán)境,并避免制程氣體中的污染物進入潤滑劑中,從而延長軸承的使用壽命。

*  變頻器驅動:全球范圍內(nèi)泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自動電壓調(diào)整特性,從而有助于打造很好的用戶體驗。

*  渦旋盤經(jīng)優(yōu)化設計后:轉速提高,極限真空比一代提高一個數(shù)量級,低到極限壓力僅為7 x 10-3mbar。

*  經(jīng)優(yōu)化設計的端面密封技術:使得使用壽命發(fā)生顯著變化,就大多數(shù)應用而言,典型的端面密封條使用壽命達到 2 年以上。

*  高流量氣鎮(zhèn)特性:可實現(xiàn)高到 220 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。

產(chǎn)品應用:

一般清潔泵送應用,電子掃描顯微鏡-SEM,射束線和高能物理,前級渦輪泵,覆層,低溫學,脫氣/硫化-油,環(huán)氧樹脂,蒸餾/萃取/過濾,冷凍干燥,熔爐,凝膠體干燥,實驗室工作臺上真空,激光、氣體回收和再循環(huán),氦檢漏儀,負載鎖和傳輸腔,稀有氣體再循環(huán),稀有氣體回收,冷凍制造,研發(fā),旋轉離心蒸發(fā)器,SEM/FIB(離子束維修),溶劑回收,表面科學儀器。

Edwards愛德華nXDS干式渦旋真空泵——技術數(shù)據(jù)

Edwards愛德華nXDS干式渦旋真空泵

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