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真空饋通（Feedthrough）連接頭的安裝步驟通常如下：

準備工作：在安裝前，需要檢查連接頭和接口的密封面是否清潔、平整，是否有劃痕或損傷。需要使用合適的清潔劑和工具清潔和處理。

涂抹密封劑：在連接頭的密封面上涂抹合適的密封劑，以增強氣密性。常用的密封劑有氟橡膠膠墊、石墨涂層和真空硅脂等。

對準接口：將連接頭對準設(shè)備上的接口，并輕輕旋轉(zhuǎn)，直到連接頭與接口完全對接。

固定連接頭：使用合適的螺栓或卡環(huán)將連接頭固定在設(shè)備上，以保證連接的穩(wěn)固和可靠。

檢查漏率：連接頭安裝完成后，需要進行漏率測試，以確保連接的氣密性。可以使用真空泵和漏率檢測器進行測試。

標記位置：連接頭安裝完成后，需要在連接頭和設(shè)備上標記安裝位置，方便以后再次拆卸和安裝。

三同軸真空饋通

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