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真空泵/干泵/油泵/擴(kuò)散泵
Agilent安捷倫 Turbo-V 3K-G 高通量渦輪分子泵是一款專用真空泵系統(tǒng)，是針對薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計(jì)的渦輪分子泵。
產(chǎn)品詳情
Agilent安捷倫 Turbo-V 3K-G 高通量渦輪分子泵是一款專用真空泵系統(tǒng)，是針對薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計(jì)的渦輪分子泵。其葉片級數(shù)和整個(gè)泵結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化，能夠在高溫負(fù)載和極高氬氣流下工作。
Turbo-V 3K-G渦輪分子泵設(shè)計(jì)堅(jiān)固，適用于惡劣的制造環(huán)境。典型的工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用，包括太陽能板和平板顯示器制造。Turbo-V 3K-G 的可靠設(shè)計(jì)和先進(jìn)的集成電子設(shè)備，使其成為真空鍍膜行業(yè)的*佳分子泵解決方案。
產(chǎn)品參數(shù)
He 壓縮比 | 6 x 103 |
N2 壓縮比 | >1 x 107 |
前級管道法蘭尺寸 | KF 40 NW |
前級耐壓 — N2 | 0.5 mbar |
啟動時(shí)間 | < 6 min |
工作位置 | 任意 |
建議采用的前級泵容量 | 60 m3/h |
抽速 — Ar | 2050 L/s |
抽速 — He | 1900 L/s |
抽速 — N2 | 2200 L/s |
操作環(huán)境溫度 | +5 to +35 °C |
極限真空 | <1 x 10-8 mbar |
標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)證 | EN 55011（無線電干擾特性） EN 61000-3-2（諧波電流發(fā)射限值） EN 61000-3-3（電壓變化、電壓波動和閃爍的限制） EN 61000-6-2 和 EN 61326（工業(yè)環(huán)境的抗擾度）檢查： EN 61000-4-2（靜電放電現(xiàn)象） EN 61000-4-3（高頻輻射現(xiàn)象） EN 61000-4-4、EN 61000-4-5 和 EN61000-4-6（高頻導(dǎo)電現(xiàn)象） EN 61000-4-11（電壓波動、電壓暫降和短時(shí)中斷） |
法蘭類型 | DN 250 ISO-F |
貯存環(huán)境溫度 | -20 至 +70 °C |
重量 | 52 kg |
額定轉(zhuǎn)速 | 31800 rpm（驅(qū)動頻率 530 Hz） |
產(chǎn)品特點(diǎn)
·專為薄膜沉積應(yīng)用而設(shè)計(jì)的分子泵解決方案。
·經(jīng)優(yōu)化適用于很高的氬氣流量。
·集成式泵和控制器可安裝在任何位置，操作簡單，占地面積小。
·支持高氣體流速，能夠使用 DN 250 實(shí)現(xiàn)高通量應(yīng)用。
·耐用設(shè)計(jì)、冷卻系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行。
·氣體吹掃可保護(hù)泵軸承，在存在系統(tǒng)污染物和微粒的情況下可實(shí)現(xiàn)無縫運(yùn)行。
·低噪音，不會對系統(tǒng)產(chǎn)生任何影響。
·免維護(hù)軸承，運(yùn)行成本低。
·通過 Vacuum Link 應(yīng)用程序?qū)崿F(xiàn)無線控制，以便隨時(shí)隨地進(jìn)行泵操作并可選配 Profibus。
·通用電子接口，包括模擬 I/O 信號和 RS232/RS485，用于通過 A-Plus 軟件實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。
以上就是北京麥迪森科技有限公司為您介紹的Agilent安捷倫 渦輪分子泵TwisTorr Turbo-V 3K-G，如果想要了解更多產(chǎn)品信息請咨詢15301310116（微信同號）。
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