Agilent安捷倫渦輪分子泵 TwisTorr Turbo-V 2K-G

Agilent安捷倫Turbo-V 2K-G 高通量渦輪分子泵是一款專用真空泵系統(tǒng)，抽速可達(dá) 1600L/s。Turbo-V 2K-G 專為工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，尤其可用作薄膜沉積設(shè)備的渦輪分子泵。

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產(chǎn)品詳情

Agilent安捷倫Turbo-V 2K-G 高通量渦輪分子泵是一款專用真空泵系統(tǒng)，抽速可達(dá) 1600L/s。Turbo-V 2K-G 專為工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，尤其可用作薄膜沉積設(shè)備的渦輪分子泵。其葉片級(jí)數(shù)和整個(gè)泵結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化，能夠在高溫負(fù)載和很高氬氣流下工作。

Turbo-V 2K-G渦輪分子泵設(shè)計(jì)堅(jiān)固，適用于惡劣的制造環(huán)境。典型的工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用，包括太陽能板和平板顯示器制造。Turbo-V 2K-G 的可靠設(shè)計(jì)和先進(jìn)的電子集成解決方案，使其成為真空鍍膜行業(yè)的分子泵解決方案。

產(chǎn)品參數(shù)

N2 壓縮比	3 x 10⁵
前級(jí)管道法蘭尺寸	KF 40 NW
前級(jí)耐壓 — N2	3 mbar
啟動(dòng)時(shí)間	< 7 min
工作位置	任意
建議采用的前級(jí)泵容量	40 m3/h
抽速 — Ar	1400 L/s
抽速 — N2	1600 L/s
操作環(huán)境溫度	+5 to +40 °C
極限真空	<1 x 10^-⁸ mbar
標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)證	EN 55011（無線電干擾特性） EN 61000-3-2（諧波電流發(fā)射限值） EN 61000-3-3（電壓變化、電壓波動(dòng)和閃爍的限制） EN 61000-6-2 和 EN 61326（工業(yè)環(huán)境的抗擾度）檢查： EN 61000-4-2（靜電放電現(xiàn)象） EN 61000-4-3（高頻輻射現(xiàn)象） EN 61000-4-4、EN 61000-4-5 和 EN61000-4-6（高頻導(dǎo)電現(xiàn)象） EN 61000-4-11（電壓波動(dòng)、電壓暫降和短時(shí)中斷）
法蘭類型	DN 250 ISO-F
貯存環(huán)境溫度	-20 至 +70 °C
重量	35 kg
額定轉(zhuǎn)速	33000 rpm（驅(qū)動(dòng)頻率 550 Hz）

產(chǎn)品特點(diǎn)

·專為薄膜沉積應(yīng)用而設(shè)計(jì)的分子泵解決方案。

·經(jīng)優(yōu)化適用于很高的氬氣流量。

·集成式泵和控制器可安裝在任何位置，操作簡單，占地面積小。

·支持高氣體流速，能夠使用 DN 250 實(shí)現(xiàn)高通量應(yīng)用。

·耐用設(shè)計(jì)、冷卻系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行。

·氣體吹掃可保護(hù)泵軸承，在存在系統(tǒng)污染物和微粒的情況下可實(shí)現(xiàn)無縫運(yùn)行。

·低噪音，不會(huì)對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生任何影響。

·免維護(hù)軸承，運(yùn)行成本低。

·通過 Vacuum Link 應(yīng)用程序?qū)崿F(xiàn)無線控制，以便隨時(shí)隨地進(jìn)行泵操作并可選配 Profibus。

·通用電子接口，包括模擬 I/O 信號(hào)和 RS232/RS485，用于通過 A-Plus 軟件實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。

產(chǎn)品選型

9698871	Turbo-V 2K-G 渦輪分子泵和控制器	MoniTorr 卡，DN 250 ISO-F
9698873	Turbo-V 2K-G 渦輪分子泵和控制器	MoniTorr 卡，DN 250 ISO-F，Profibus

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Agilent安捷倫渦輪分子泵TwisTorr Turbo-V 2K-G