Agilent安捷倫渦輪分子泵 TwisTorr Turbo-V 1K-G

Agilent安捷倫高通量Turbo-V 1K-G 渦輪分子泵是一種專用真空泵系統(tǒng)，抽速可達(dá) 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 專為工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，尤其可用作薄膜沉積設(shè)備的渦輪分子泵。

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產(chǎn)品詳情

Agilent安捷倫高通量Turbo-V 1K-G 渦輪分子泵是一種專用真空泵系統(tǒng)，抽速可達(dá) 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 專為工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，尤其可用作薄膜沉積設(shè)備的渦輪分子泵。其葉片級(jí)數(shù)和整個(gè)泵結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化，能夠在高溫負(fù)載和很高氬氣流下工作

典型的工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用，包括太陽能板和平板顯示器制造。Turbo-V 1K-G 的可靠設(shè)計(jì)和先進(jìn)的電子設(shè)備、機(jī)架式或一體式解決方案，使其成為真空鍍膜行業(yè)的分子泵解決方案。

產(chǎn)品參數(shù)

H2 壓縮比	1.5 x 10⁴
He 壓縮比	>4 x 10⁴
N2 壓縮比	>5 x 10⁷
前級(jí)管道法蘭尺寸	KF 25 NW KF 40 NW
前級(jí)耐壓 — N2	3 mbar
啟動(dòng)時(shí)間	< 5 min
工作位置	任意
建議采用的前級(jí)泵容量	20 m3/h
抽速 — Ar	1040 L/s (ISO 200) L/s
抽速 — H2	730 L/s (ISO 200) L/s
抽速 — He	1150 L/s (ISO 200) L/s
抽速 — N2	1080 L/s (ISO 200) L/s
振動(dòng)水平	< 在抽氣口法蘭處為 0.01 μm
操作環(huán)境溫度	+5 to +35 °C
極限真空	<1 x 10^-10 mbar
標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)證	UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN 55011 A類 EN 61000-4-2 EN 61000-4-3 EN 61000-4-4 EN 61000-4-5 EN 61010-1 EN 1012-2
法蘭類型	DN 160 ISO-F DN 200 ISO-F
貯存環(huán)境溫度	-20 至 +70 °C
重量	26.8 kg
額定轉(zhuǎn)速	45660 rpm（驅(qū)動(dòng)頻率 761 Hz）

產(chǎn)品特點(diǎn)

·專為薄膜沉積應(yīng)用而設(shè)計(jì)的分子泵解決方案。

·經(jīng)優(yōu)化適用于很高的氬氣流量。

·支持高氣體流速，能夠使用 DN 160 或 200 實(shí)現(xiàn)高通量應(yīng)用。

·耐用設(shè)計(jì)、冷卻系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行。

·氣體吹掃可保護(hù)泵軸承，在存在系統(tǒng)污染物和微粒的情況下可實(shí)現(xiàn)無縫運(yùn)行。

·低噪音，不會(huì)對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生任何影響。

·體積小巧，可安裝在任何位置，有利于輕松集成。

·免維護(hù)軸承，運(yùn)行成本低。

·通過 Vacuum Link 應(yīng)用程序?qū)崿F(xiàn)無線控制，以便隨時(shí)隨地進(jìn)行泵的操作。

·通用電子接口。

產(chǎn)品選型

8698961R002	Turbo-V 1K-G 泵	DN 160 ISO-F 抽氣口法蘭，KF25 前級(jí)管道法蘭
8698962R001	Turbo-V 1K-G 泵	DN 200 ISO-F 抽氣口法蘭，KF40 前級(jí)管道法蘭
8698962R004	Turbo-V 1K-G 泵	DN 200 CF-F（10 英寸 CFF）抽氣口法蘭