Agilent安捷倫渦輪分子泵 TwisTorr 804 FS

Agilent安捷倫TwisTorr 804 FS配備 DN 200 和 250 法蘭，可提供 800 L/s 的抽速，對輕質(zhì)氣體可實現(xiàn)高壓縮比，其采用的安捷倫懸浮軸承技術(shù) (AFS) 能夠確保低振動和低噪音，適用于各種敏感環(huán)境。

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產(chǎn)品詳情

Agilent安捷倫TwisTorr 804 FS 配備 DN 200 和 250 法蘭，可提供 800 L/s 的抽速，對輕質(zhì)氣體可實現(xiàn)高壓縮比，其采用的安捷倫懸浮軸承技術(shù) (AFS) 能夠確保低振動和低噪音，適用于各種敏感環(huán)境。TwisTorr 804 FS 的高壓縮比、高前級耐壓能力和免維護運行使其成為一種可靠、高性能、低成本的分子泵。

804 FS 是大型 UHV 系統(tǒng)、核研究、離子注入器、表面分析和電子顯微鏡應(yīng)用的理想選擇。該泵的智能控制器可根據(jù)系統(tǒng)需要自動優(yōu)化泵的性能。

產(chǎn)品參數(shù)

H2 壓縮比	3 x 10⁶
He 壓縮比	2 x 10⁸
N2 壓縮比	>1 x 10¹¹
冷卻方法	風(fēng)冷水冷
前級管道法蘭尺寸	KF 25 NW KF 40 NW
前級耐壓 — N2	10 mbar
啟動時間	< 5 min
噪音水平	43 dB(A)
工作位置	任意
建議采用的前級泵容量	10 m3/h
抽速 — Ar	690 L/s
抽速 — H2	485 L/s
抽速 — He	660 L/s
抽速 — N2	720 L/s
操作環(huán)境溫度	+5 to +35 °C
氣體通量 — Ar、水冷	3.3 mbar L/s；195 sccm
氣體通量 — N2、水冷	6.2 mbar L/s；367 sccm
極限真空	<1 x 10^-10 mbar
標(biāo)準(zhǔn)和認證	61326-1 61010-1 DIR 2006/42/CE DIR 2014/35/EU DIR 2014/30/EU DIR 2011/65/EU
法蘭類型	DN 200 DN 250
貯存環(huán)境溫度	-40 至 +70 °C
重量	20.7 kg
額定轉(zhuǎn)速	40800 - 49500 rpm（驅(qū)動頻率 680 - 825 Hz）

產(chǎn)品特點

·可對輕質(zhì)氣體實現(xiàn)高壓縮比，同時支持高氣體流速，從而能夠通過 DN200 或 250 法蘭在很低的·壓力下運行，同時可用于高通量應(yīng)用。

·無烴運行，可確保真空系統(tǒng)潔凈。

·遠程控制器可在距離 100 m 處進行操作。

·低振動和低噪音 (43 dB(A))，打造舒適的工作環(huán)境并且可以在敏感的實驗環(huán)境下運行。

·體積小巧，可安裝在任何位置，有利于輕松集成。

·免維護軸承，運行成本低。

·真空計讀數(shù)功能，用于監(jiān)測系統(tǒng)壓力。

·通過 Vacuum Link 應(yīng)用程序?qū)崿F(xiàn)無線控制，以便隨時隨地進行泵的操作。

·防輻射和防磁場設(shè)計，無嵌入式電子設(shè)備，可在強磁場和輻射環(huán)境下運行。

·低電磁輻射，確保不會干擾工藝過程。

·泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達到很高，可在泵的操作條件下始終保持氣體流量和壓縮比。

產(chǎn)品選型

X3511-64023	TwisTorr 804 FS 渦輪分子泵	DN 200 ISO-K 抽氣口法蘭，KF25/KF40 前級管道法蘭。KF40 法蘭安裝在泵中，KF25 包含在套裝中未安裝。
X3511-64025	TwisTorr 804 FS 渦輪分子泵	DN 200 ISO-F 抽氣口法蘭，KF25/KF40 前級管道法蘭。KF40 法蘭安裝在泵中，KF25 包含在套裝中未安裝。
X3511-64027	TwisTorr 804 FS 渦輪分子泵	DN 200 CF-F（10 英寸 CFF）抽氣口法蘭，KF25/KF40 前級管道法蘭。KF40 法蘭安裝在泵中，KF25 包含在套裝中未安裝。
X3511-64028	TwisTorr 804 FS 渦輪分子泵	DN 250 ISO-K 抽氣口法蘭，KF25/KF40 前級管道法蘭KF40 法蘭安裝在泵中，KF25 包含在套裝中未安裝。
X3511-64029	TwisTorr 804 FS 渦輪分子泵	DN 250 ISO-F 抽氣口法蘭，KF25/KF40 前級管道法蘭KF40 法蘭安裝在泵中，KF25 包含在套裝中未安裝。
X3511-64043	TwisTorr 804 FS 渦輪分子泵	單速，DN 200 ISO-F 抽氣口法蘭，KF25/KF40 前級管道法蘭。KF40 法蘭安裝在泵中，KF25 包含在套裝中未安裝。
X3511-64044	TwisTorr 804 FS 渦輪分子泵	單速，DN 200 CF-F（10 英寸 CFF）抽氣口法蘭，KF25/KF40 前級管道法蘭。KF40 法蘭安裝在泵中，KF25 包含在套裝中未安裝。