問：真空傳輸閥可允許漏率是多少？

答：與之前介紹的閘閥可允許漏率不同，真空傳輸閥的可允許漏率分別為 Stain Less : < 1×10-9 mbar ?/sec 與 Aluminum : < 1×10-5 mbar ?/sec。

真空傳輸閥

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