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真空計(jì)是一種用于測量真空度的儀器,常用于科學(xué)研究、工業(yè)生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用中。它的工作原理基于不同的物理原理,以下介紹幾種常見的真空計(jì)工作原理:
熱陰極離子化真空計(jì)(熱陰極離子化真空計(jì)):
該類型的真空計(jì)使用熱陰極產(chǎn)生電子束,電子束與氣體分子碰撞產(chǎn)生電離,形成離子。
通過電子束和離子之間的電荷交換,測量電流可以推導(dǎo)出氣體的真空度。
熱陰極離子化真空計(jì)適用于中高真空范圍。
熱電離真空計(jì)(Bayard-Alpert真空計(jì)):
該類型的真空計(jì)使用熱絲電阻絲作為陰極,電子從熱絲發(fā)射出來。
通過一個(gè)收集極和陽極之間的電流測量,測量離子的電流。
熱電離真空計(jì)可以測量較高真空范圍,通常用于紫外線光譜儀、電子顯微鏡等應(yīng)用。
冷陰極電離真空計(jì)(Penning真空計(jì)):
Penning真空計(jì)使用冷陰極作為電子發(fā)射源。
冷陰極發(fā)射的電子在磁場中運(yùn)動(dòng),與氣體分子碰撞并產(chǎn)生電離。
通過測量電子與陽極之間的電流,推導(dǎo)出氣體的真空度。
Penning真空計(jì)可用于較低真空范圍,廣泛應(yīng)用于工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室領(lǐng)域。
熱電阻真空計(jì)(熱電阻真空計(jì)):
熱電阻真空計(jì)使用一個(gè)金屬絲或薄膜電阻器作為測量元件。
電阻器加熱后與環(huán)境散熱,散熱速率與環(huán)境氣體的導(dǎo)熱性質(zhì)有關(guān)。
通過測量電阻器的電阻值變化,可以推導(dǎo)出氣體的真空度。
熱電阻真空計(jì)通常用于粗真空范圍。
這些是常見的真空計(jì)的工作原理,每種類型的真空計(jì)都有其適用的真空范圍和特定的應(yīng)用領(lǐng)域。根據(jù)需要選擇合適的真空計(jì)來測量特定范圍內(nèi)的真空度。
愛德華nAPG AIM WRG數(shù)字式真空計(jì)
以上就是北京麥迪森科技有限公司提供的真空計(jì)工作原理的介紹。